FPD製造装置（スリットコーター・スピンコーター等）

リニアでスライドするノズルを用いて、基板にレジスト液を塗布する装置です。高性能且つ高いコストパフォーマンスを実現。 ご要望に応じ、ローダー/アンローダー、バキューム乾燥装置、焼成装置、搬送装置などを含むコーターシステムを構築します。
＜特 徴＞
・低粘度から高粘度まで幅広い塗布材料に対応（粘度：1〜50cps　50cps以上の高粘度も対応可能）
・0.1μmの薄膜から10μmの厚膜まで対応（10μm以上の厚膜も対応可能）
・基板厚み0.3mm以上。 基板サイズ370mm×470mm以上（370mm×470mm以下のサイズも対応可能）
・ユニフォミティ±３％以内（当社条件による）
・ 塗布速度 5〜100mm/sec（実績）
・レジスト使用効率95％以上、省液・低コストを実現
・自社開発ノズル。 ノズル交換時間を大幅に短縮（500mmノズル=約2分）
・レシピ簡易設定機能
・オフラインタイプ、コータ・デベロッパへのインラインタイプとも対応可能

スピンコーターは、ガラス基板にフォトレジストを基板に滴下し、カップと基板を同時回転（カップ回転式）させ、遠心力で膜を引き延ばす高精度の回転塗布方式のコーターです。

レジスト塗布後のガラス基板を減圧状態におき、膜面安定と乾燥を促進する装置です。

高い安定性、精度、そして高速搬送を実現します。

高性能なヒーターによる温度コントロール、焼成ムラを無くした基板環境、クリーンな炉内で高精度の焼成を実現します。

ガラス基板1枚品や液晶セルのようなガラス2枚貼合せ品などの切断を行うための装置です。 位置決めは画像処理で行い、切断動作はSettingにより実行します。高い切断精度、高品質な仕上りを実現します。

液晶用Glass基板、Cell、治具(カセット、APR版）の自動洗浄機です。 手動、半自動、全自動および試作、量産のいずれにも対応します。

実績
・液晶用APR版洗浄機 （TFT G4.5〜G8)
・液晶用Glass基板、Cell用
・半導体及び液晶用Cassette用洗浄機
・半導体容器用
・UV方式：IR乾燥等

液晶セル最終工程の偏光板貼付に用いる装置です。 2”以上のあらゆるサイズの液晶cellに、偏光板を半自動（セルと偏光板を手動セット）で貼り付けます。 また、LCMリペーア用の装置も扱っており、セルと偏光板のセットアップはマニュアルで、偏光板の貼り付けは自動モードで行います。

実績
2”〜5”用、5”〜12”用、12”〜18”用、10”〜24”用、
15”〜30”用、23”〜50”用、24”〜65”用

偏光板をLCDに貼付けた後の気泡除去、並びに偏光板とLCDの粘着力アップのための装置です。 内径O2000mmで、各寸法の製品に適用します。 手動、半自動、全自動のいずれにも対応します。

貼付後の検査で、偏光板傷、汚れ、凸凹、波打ち、気泡などが発見された際、偏光板の剥離作業に使用します。 Cell Gap変動による画像ムラや、取扱い中のCell破損といった不良を発生させない構造となっています。